大视野3D白光干涉仪解决激光共聚焦拼接波纹抖动难题(Large Field 3D White Light Interferometer Solve LCM Splicing Ripple Jitter
在半导体、精密制造领域,工件直线度与微观形貌的精准测量是质量管控的核心环节。激光共聚焦显微镜(Laser Confocal Microscope, LCM)拼接检测普遍存在波纹抖动、形貌错位、数据失真等问题,检测结果无法满足ISO标准合规要求。本文依…
2026/7/2 10:39:10