一、背景最近的项目需要对所选材料的电阻进行评估以避免因材料本身不达标而导致后续信号链出现问题后难以溯源。为此我们调研了国内外在售的高阻计。其中最具代表性的仪表是 Keithley 旗下的电阻/低电流静电计系列例如 6430亦作 ADA5430它是专门用于评估飞安级输入偏置电流的测量仪表但价格非常高昂。随着国内科学仪表的兴起同惠的 TH2690 飞安表/静电计/高阻计在性能指标上已可与之媲美。因此撰写本文旨在便于后续需要时快速查阅相关资料并为下一步的采购决策提供依据。二、Keithley 6500、6430 系列高电阻/低电流静电计高阻低电流静电计从三个敏感选项中选择实现精确的高阻抗和低电流测量。5½ 位 6514 型和 6517B 型静电计提供 1fA 灵敏度输入阻抗 200TΩ 的电压测量以及低至 10fC 的电荷测量。6½ 位 6430 型亚 fA 远程 SourceMeter SMU 仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流。其噪声低、偏差小非常适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用。▲ 图1 外观▲ 图2 阻值测量▲ 图3 电流测量▲ 图4 特点及价格三、TH2690 飞安表/静电计/高阻计同惠仪表需要着重说明的是其6½位测量分辨率并且列举了更为丰富的应用情景。▮材料特性测试适用于半导体、纳米材料、聚合物、介质材料、电化学材料、铁电材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡胶、薄膜、金属、有机材料等多种材料的电学性能表征。▮电子元器件泄漏电流与绝缘电阻测试可对电容器、电阻器、二极管、晶体管、传感器、TFT/CNT器件、光电器件、纳米器件、太阳能电池、开关、继电器等进行高精度漏电流和绝缘电阻测量。▮电子/非电子系统应用适用于离子束、电子束系统、传感系统、粒子测量装置、嵌入式精密仪器等各类系统的微弱电流与高阻抗测量。▮第三代半导体材料与器件 I-V 特性测量专门针对宽禁带半导体如 GaN、SiC等第三代半导体材料及其器件的电流-电压特性进行精确测量。▮体电阻与表面电阻率测量提供材料体电阻和表面电阻率的高分辨率测量功能满足材料研究与质量控制的严格要求。▲ 图5 电流测量▲ 图6 系列概述▲ 图7 TH2695A价格▲ 图8 TH2690H价格▲ 图9 TH2690A四、结论综合来看当前国产仪器在性能指标与价格方面具有显著优势。然而具体选购哪个型号仍需进一步明确。首先关于最大电阻测量功能核心目标是能够评估不低于 1 GΩ 的阻值。目前同惠的任意一款型号即使是最小的 1 PΩ 量程也是目标阻值的 10⁹ 倍即十亿倍完全满足使用需求。其次是否需要电荷测量能力则应根据具体应用场景进行综合分析。● 相关图表链接:图1 外观图2 阻值测量图3 电流测量图4 特点及价格图5 电流测量图6 系列概述图7 TH2695A价格图8 TH2690H价格图9 TH2690A